የዚህ ጽሑፍ የአርታዒ ኃላፊነት በ Wuhan Ooi Photoelectric Technology Co., Ltd. ላይ ይወድቃል። በOoitech የአርታዒ ቡድን ተጽፎ ተገምግሟል። እንዴት እንደምንጽፍ፣ የAI መሣሪያዎች የሚጠቀሙበትን እና እርማት እንዴት እንደሚጠየቅ ለማየት የእኛን የአርታዒ ፖሊሲ ይመልከቱ።
የPL እድፎች፣ አረፋ እና የጀልባ ምልክቶች፡ የትኛው እርምጃ
የይዘት ሰንጠረዥ
ፈጣን መልስ፦ የፎቶሉሚኔሴንስ እድፍ፣ አረፋ እና የጀልባ ምልክቶች ሶስት የተለያዩ የጉድለት ምልክቶች ናቸው፣ እና ወቅቱ ወሳኝ ነው፡ ከሰኔ እስከ መስከረም፣ በብዙ መስመሮች ላይ ካሉት የዋፈር ደረጃ ጉድለቶች ከ80% በላይ የሚሆኑት ከተመሳሳይ የሂደት መንስኤዎች ክላስተር የሚመጡ ናቸው። ሶስቱም በዝቅተኛ ጥራት ምስል ውስጥ ተመሳሳይ ይመስላሉ እና ፍጹም የተለያዩ መፍትሄዎች አሏቸው። የPL እድፍ አብዛኛውን ጊዜ ከሙቀት ችግር ይልቅ የብክለት ወይም የአያያዝ ችግርን ያመለክታል። አረፋ አንድ ንጣፍ ያልተመጣጠነ በሆነ መንገድ የተፈጠረበትን የማስቀመጫ ወይም የማድረቂያ ደረጃ ይከታተላል። የጀልባ ምልክቶች የተሸካሚ ምልክት ናቸው — በጀልባ ውስጥ ያለው የዋፈር አቀማመጥ በሂደቱ ውስጥ ራሱን ደግሟል። በጨዋታ ላይ ያሉት የንጣፍ ውፍረቶች 1 nm፣ 1.5 nm፣ 3 nm፣ 5 nm እና 6 nm ላይ ይገኛሉ፣ ይህም የገጽታ ውጤት ከጅምላ ባህሪ ላይ የሚያሸንፍ ያህል ቀጭን ነው። የምርመራው ቅደም ተከተል የሂደቱን ቅደም ተከተል ሳይሆን የጉድለቱን ቅርጽ መከተል አለበት።
PV Module Manufacturing · by Jerry, Ooitech
የፒኤል እድፍ፣ አረፋ እና የጀልባ ምልክቶች፡ የትኛውን ደረጃ መጀመሪያ መፈተሽ አለብን?
በየዓመቱ ከሰኔ እስከ መስከረም፣ ከ80% በላይ የሶላር ሴል ፋብሪካዎች ተመሳሳይ ራስ ምታት ያጋጥማቸዋል። ዎርክሾፑ በቋሚ 25℃ ይቀመጣል፣ የሂደት አዘገጃጀቶች ሳይለወጡ ይቀራሉ፣ የጋዝ ፍሰቶች በትክክል የተለመዱ ናቸው፣ እና የሙቀት ኩርባዎች በዝርዝር ገደቦች ውስጥ ይገኛሉ። ቢሆንም፣ ከፓሲቬሽን በኋላ ያለው የአናሳ ተሸካሚ ዕድሜ እየቀነሰ ይሄዳል። የምርት መለዋወጥ ብዙውን ጊዜ እንደ ግልጽ ያልሆነ የበጋ ውጤት ተደርጎ ይወሰዳል። ይህ መመሪያ አራት ተግባራዊ እና ክትትል የሚደረግባቸው መንስኤዎችን ይለያል እና ለበጋ ወቅት ተግባራዊ የሂደት ማስተካከያዎችን ይሰጣል።
የችግር ሁኔታ እና የጉድለት መገለጫ
በዚህ ሰኔ ወር በምስራቅ ቻይና ከሚገኝ ፋብሪካ እውነተኛ ጉዳይ ውሰድ። የስራ ክፍሉ በተረጋጋ ሁኔታ 25℃ ነበር፣ ነገር ግን የንጹህ ክፍሉ የእርጥበት መለኪያ 72% ደርሷል። በክረምት ከነበረው 30% እርጥበት ጋር ሲነጻጸር፣ ይህ ከእጥፍ በላይ ነው። የሂደት መሐንዲሶች ከፓሲቬሽን በኋላ ያለው የአናሳ ተሸካሚ የህይወት ዘመን በሁሉም ቦታ እንደወደቀ አስተውለዋል፣ ከተለመደው 2 ms ወደ 1.2 ms ቀንሷል። የከፋው ነገር፣ በተመሳሳይ ቱቦ አናት እና ግርጌ ላይ ያሉ ዋፈሮች በህይወት ዘመን ላይ 40% ልዩነት አሳይተዋል።
ይህ የተለየ ክስተት አይደለም። የስራ ክፍሉን ሙቀት መቆጣጠር ይችላሉ፣ ነገር ግን እርጥበት የተለየ ነገር ነው። ድንገተኛ የበጋ ዝናብ የንጹህ ክፍሉን እርጥበት ከ50% ወደ 80% በቀላሉ ሊጨምር ይችላል። በፓሲቬሽን ሂደት ውስጥ እያንዳንዱ እርምጃ ለዚህ እርጥበት በጣም ስሱ ነው።
ፓሲቬሽን ፊልም መሸፈን ብቻ አይደለም። እንደ ሁለት-ደረጃ ሮኬት አድርገው ይቁጠሩት። ደረጃ አንድ ማስቀመጫው ራሱ ነው፣ ከAl₂O₃ ወይም SiNₓ የኬሚካል ፓሲቬሽን በመጠቀም የተንጠለጠሉ ቦንዶችን ለማርካት፣ በተጨማሪም የገጽታ ውህደትን ለመግታት የመስክ-ውጤት ፓሲቬሽን። ደረጃ ሁለት የሃይድሮጂን ፓሲቬሽን ነው። ከፍተኛ ሙቀት ማቃጠል ሃይድሮጂኑን ከፊልሙ እንዲወጣ ያስገድዳል፣ ወደ ሲሊከን ገጽታ እና የጅምላ ጉድለቶች እንዲገባ በማድረግ የተረፉትን የተንጠለጠሉ ቦንዶች ለማርካት።
የመጨረሻውን የፓሲቬሽን ጥራት የሚወስነው ትክክለኛው ነገር በማቃጠል ጊዜ ሃይድሮጅን ምን ያህል በደንብ እንደሚለቀቅ ነው። የሃይድሮጅን ባህሪ—ከቅርጹ በፊልሙ ውስጥ እስከ መለቀቂያ ኪነቲክስ እና የስርጭት መንገድ—ከሙቀት እና እርጥበት ጋር በጣም የተያያዘ ነው። ለዚህ ነው የበጋ ጉድለቶች የሚቀሰቀሱት በሙቀት ለውጥ ሳይሆን በእርጥበት ለውጥ ነው።
በፓሲቬሽን ውስጥ አራት የእርጥበት ማስተላለፊያ መስመሮች
ይህንን ወደ አራት የተወሰኑ የማስተላለፊያ መስመሮች እንከፋፍለው። ወርክሾፑ የሙቀት መቆጣጠሪያ ሊኖረው ይችላል፣ ነገር ግን እነዚህ አራት ቦታዎች በበጋ ሁኔታዎች በቀጥታ ይጎዳሉ።
መስመር 1፡ በማቀዝቀዣ ውሃ ሙቀት ምክንያት የሚከሰት የሃይድሮጅን ልዩነት
PECVD ክፍሎች ትክክለኛ የሙቀት መስክ ለመጠበቅ በማስቀመጥ ጊዜ ቋሚ ማቀዝቀዝ ያስፈልጋቸዋል። ቺለሮች ብዙውን ጊዜ ኮንደንሰሮቻቸው በጣሪያ ላይ ወይም ውጭ ይቀመጣሉ፣ የወንዝ ወይም የጉድጓድ ውሃ ይጠቀማሉ፣ ይህም ሙሉ በሙሉ በወቅቱ ይወሰናል።
በክረምት ውስጥ የውጭ ሙቀት በ5–10℃ አካባቢ ይቆያል፣ የማቀዝቀዣ ውሃውን በ20–22℃ በትክክል ያረጋል። በበጋ ሙቀቱ ከ35℃ ያልፋል። የቺለር ብቃት ይቀንሳል፣ እና የማቀዝቀዣ ውሃ ሙቀት በቀላሉ ወደ 28–30℃ ይወጣል።
የንጹህ ክፍልዎ አሁንም 25℃ ሊሆን ይችላል፣ ነገር ግን ያ ሞቃት የማቀዝቀዣ ውሃ በቀጥታ የPECVD ክፍሉን የግድግዳ ሙቀት ይለውጣል። የሙቀት ጨረር ስርጭቱ ይቀየራል። በቱቦው ውስጥ በተለያዩ ቦታዎች ላይ የሚቀመጡ ዋፈሮች ሙሉ ለሙሉ የተለያየ ትክክለኛ የማስቀመጫ ሙቀት ያጋጥማቸዋል። በላይኛው እና በታችኛው ዋፈሮች መካከል ያለው የሙቀት ልዩነት ይሰፋል፣ ይህም በተመሳሳይ ቡድን ውስጥ ያለውን ያንን ግዙፍ 40% የህይወት ዘመን ልዩነት ያብራራል።
ለAl₂O₃ ALD ወይም ለSiNₓ PECVD እየተጠቀሙ ቢሆኑም፣ የተለወጠ የክፍል ሙቀት ማለት የፊልም ጥግግት እና የሃይድሮጂን ይዘት ይቀየራሉ ማለት ነው።
| የማስቀመጫ ሙቀት | የፊልም ባህሪያት | የሃይድሮጂን ባህሪ |
|---|---|---|
| በመጠኑ ዝቅተኛ | ጥቅጥቅ ያለ፣ ከፍተኛ የH ይዘት፣ በዋናነት N-H/Si-H | ሙሉ ለመልቀቅ ከፍተኛ የማቃጠያ ሙቀት ያስፈልገዋል |
| በመጠኑ ከፍተኛ | ልቅ፣ ከፍተኛ የH ይዘት፣ ደካማ የH ትስስር | በፍጥነት ይለቀቃል፣ በመገናኛው ላይ ይሰበሰባል |
የኢንዱስትሪ ምርት የፊልም ጥግግት እና የሃይድሮጅን ይዘትን በማመጣጠን በጣም ጠባብ በሆነ ጥሩ መስኮት ላይ ይመሰረታል። የ±5℃ ልዩነት እንኳን ከዚያ መስኮት ሊያወጣዎት ይችላል። የበጋ የማቀዝቀዣ ውሃ በጣም ሲሞቅ፣ አጠቃላይ የክፍሉ የሙቀት መስክ ይቀየራል፣ እና የፊልም መለኪያዎች ከእሱ ጋር ይንሸራተታሉ።
መስመር 2፡ ከተዛመደ የሙቀት ታሪክ የተነሳ የAlOₓ አረፋ መምጠጥ
ይህ ጉዳይ ብዙ ሰዎች በማያስተውሉት የጊዜ ክፍተት ውስጥ ይደበቃል። ዋናው የALD መሳሪያ በተለምዶ ለAl₂O₃ ማስቀመጫ 28–35 ዑደቶችን ይሰራል፣ ይህም በ4.5–6 nm ውፍረት ላይ ያርፋል። በመቀጠል የPECVD SiNₓ ማስቀመጫ በ400–580℃ መካከል ይከሰታል። ያ የሙቀት መጠን ቀድሞውኑ በAl₂O₃ ውስጥ ያለውን ሃይድሮጅን በኃይል ለማንቀሳቀስ በቂ ነው።
የPECVD የማሞቂያ መጠን እና የመያዝ ጊዜ በትክክል ከተዋቀሩ፣ በAl₂O₃ ውስጥ ያለው የሃይድሮጅን ክፍል በዚህ የቅድመ-ማሞቂያ ደረጃ ውስጥ በተቀላጠፈ ሁኔታ ይለቀቃል። የተቀረው የተረጋጋ ሆኖ ይቆያል እና በኋላ በማቃጠያ ምድጃ ውስጥ በትክክል ይለቀቃል። የበጋ ሁኔታዎች ይህንን ሪትም ያበላሻሉ።
በመጀመሪያ፣ የALD ሂደት መለዋወጥ ይከሰታል። የ5 nm Al₂O₃ ንብርብር ለወጪ እና ለመከላከያ ጥሩ ቦታ ነው፣ ይህ ማለት ፍጹም የሃይድሮጅን ይዘቱ በተፈጥሮ ከፍተኛ ነው። ከፍተኛ የበጋ እርጥበት ማለት ብዙ ሃይድሮጅን በፊልሙ ውስጥ ይያዛል ማለት ነው።
ሁለተኛ፣ የPECVD SiNₓ ክምችት ለAl₂O₃ እንደ ዋና የማቃለል ደረጃ ይሠራል። ማሞቂያው በጣም ፈጣን ከሆነ ወይም ከፍተኛ የሙቀት መቆያ ጊዜ በጣም አጭር ከሆነ፣ ሃይድሮጅኑ በበቂ ሁኔታ አይለቀቅም።
ሦስተኛ፣ የማቃጠል ሙቀቶች 700–900℃ ይደርሳሉ። ያ ሁሉ የታሰረ ሃይድሮጅን በአንድ ጊዜ ይፈነዳል፣ ወደ Si/Al₂O₃ መገናኛ እየተሰራጨ። የH₂ ጋዝ ሞለኪውሎችን ይፈጥራል እና ከፍተኛ የአካባቢ ግፊት ይገነባል።
በመጨረሻም፣ ግፊቱ ከፊልሙ የማጣበቅ ጥንካሬ በላይ ሲሆን፣ አረፋ መፈጠር ይከሰታል።
ከፍተኛ እርጥበት -> ተጨማሪ የታሰረ H -> ደካማ PECVD ቅድመ-ልቀቅ -> ከፍተኛ የማቃጠል ሙቀት = አረፋ መፈጠር።
በማይክሮስኮፕ ስር፣ የዋፈሩን ገጽታ ከ2–10 μm ዲያሜትር ባላቸው ጥቃቅን አረፋዎች ሲሸፈን ታያለህ። እያንዳንዱ አረፋ የመከላከያ ኃይል የጠፋበት የሞተ ቦታን ይወክላል።
መስመር 3፡ በቱቦ ምድጃዎች ውስጥ ከፍ ያለ የጀርባ እርጥበት
ይህ በቀላሉ በጣም የተረሳው መስመር ነው፣ ነገር ግን በበጋ ምርት ውስጥ በማይታመን ሁኔታ ገዳይ ነው። በተጠባባቂ ጊዜ፣ የPECVD ቱቦ ምድጃዎች ለከባቢ አየር ይጋለጣሉ። የበጋ አየር 60–80% RH ይደርሳል። የምድጃው ቱቦ ከክረምት የበለጠ እርጥበትን ይስባል።
ሲያወርዱ እና ሲያሞቁ ለማስቀመጥ፣ ያ የታሰረ እርጥበት ይወጣና ከሂደት ጋዝዎ ጋር ይቀላቀላል። ይህ የጀርባ እርጥበት የSiNₓ ማስቀመጥን በሦስት መንገዶች ሙሉ በሙሉ ያበላሻል።
የማጣቀሻ ኢንዴክስ መንሸራተት፡ SiNₓ የብርሃን መምጠጥን እና ማለስለስን ለመቆጣጠር ጥብቅ የማጣቀሻ ኢንዴክስ 2.05–2.10 ይፈልጋል። የጀርባ እርጥበት የSi/N ጥምርታን ይቀይራል። የበጋ እርጥበት ኢንዴክሱን ከ2.05 በታች በቀላሉ ሊያወርድ ይችላል፣ ይህም የማለስለስ ጥራትዎን ይገድላል።
የተለወጡ የሃይድሮጅን ትስስሮች፡ በውሃ ትነት ውስጥ ያለው H⁺ ከSi-H እና N-H ትስስሮች ጋር በSiNₓ ውስጥ ይወዳደራል። በኋላ በሚተኮስበት ጊዜ ሃይድሮጅን እንዴት እንደሚለቀቅ ያበላሻል።
የተበላሸ የመገናኛ ንጽህና፡ እርጥበት በማስቀመጥ መጀመሪያ ላይ በዋፈር ገጽ ላይ የተረጋጋ የSi-OH ንብርብር ይፈጥራል። ይህ በሲሊኮን እና በAl₂O₃ ወይም SiNₓ መካከል ያለውን ትስስር ያበላሻል፣ ወዲያውኑ የመገናኛ ወጥመድ ጥግግትን ይጨምራል።
መስመር 4፡ ከመተላለፊያ ኦክሳይድ በፊት ያለው የተደበቀ የQ-Time ክፍተት
ይህ በመስመሩ መጀመሪያ ላይ፣ ከአልካላይን ፖሊሽ በኋላ እና የመተላለፊያ ኦክሳይድ ከማስቀመጥ በፊት ይከሰታል። ለአየር የተጋለጠ ባዶ ሲሊኮን የተፈጥሮ ኦክሳይድ ንብርብር ያድጋል፣ እና የዚያ እድገት ፍጥነት ሙሉ በሙሉ በአካባቢው እርጥበት እና የሙቀት መጠን ላይ የተመሰረተ ነው።
በ25℃ እና 80% RH ላይ፣ ባዶ ሲሊከን በአንድ ሰዓት ውስጥ ብቻ 1 nm የሆነ የተፈጥሮ ኦክሳይድ ሽፋን ያድጋል። የመሳሪያ ጉድለቶች ወይም የጊዜ መርሐግብር መዘግየቶች እነዚያን ዌፈርዎች በንጹህ ክፍል ውስጥ ለሁለት ወይም ለሶስት ሰዓታት እንዲቆዩ ካደረጉ፣ ያ የተፈጥሮ ሽፋን 1.5 nm ወይም ከዚያ በላይ ሊደርስ ይችላል።
ይህ የተፈጥሮ ኦክሳይድ ልቅ እና በጉድለቶች የተሞላ ነው። የእርስዎን ከፍተኛ ጥራት ያለው 1.2–1.5 nm የመተላለፊያ ኦክሳይድ በእሱ ላይ ለማደግ ሲሞክሩ፣ ሁለቱ ሽፋኖች ይደባለቃሉ። አሁን የመተላለፊያ ሽፋንዎ 2–3 nm ውፍረት ይኖረዋል—ከንድፍ ዝርዝር እጥፍ ይበልጣል፣ በአስከፊ የመዋቅር ጥራት።
ይህ አስከፊ የሰንሰለት ምላሽ ያስነሳል። ከመጠን በላይ ወፍራም የሆነው የመተላለፊያ ሽፋን የኤሌክትሮን መተላለፍን ይከለክላል። በፖሊሲሊከን ዶፒንግ ወቅት፣ ፎስፎረስ በዚህ ወፍራም እንቅፋት ውስጥ ለመሰራጨት ይቸገራል። የመተላለፊያ ሽፋኑ በጣም ቀጭን የሆነባቸው አካባቢዎች ከመጠን በላይ ዶፕ ይደረጋሉ፣ ይህም የኦገር ውህደትን ያስከትላል እና የህይወት ዘመንን ይቀንሳል፣ ይህም በPL ሙከራ ውስጥ እንደ ጥቁር እድፍ ይታያል። በጣም ወፍራም የሆነባቸው አካባቢዎች ደግሞ በቂ ዶፕ አይደረግም፣ ይህም የግንኙነት መከላከያን ይጨምራል። ይህ በEL ሙከራ ውስጥ በጀልባ ምልክቶች ዙሪያ ጥቁር ጠርዞችን ያስከትላል። በመጨረሻም፣ የእርስዎ ክፍት-ወረዳ ቮልቴጅ (Voc) በመላው ቡድኑ ውስጥ በከፍተኛ ሁኔታ ይወርዳል።
የስር መንስኤ ማጠቃለያ፡ አራት ስርጭቶች፣ አንድም ጉድለት አይደለም
የበጋ ፓሲቬሽን ጉዳዮች አዲስ አይደሉም፣ ነገር ግን መሐንዲሶች ነጠላ የውድቀት ነጥብ ስለሚፈልጉ ምናሌዎችን እና የጋዝ ፍሰቶችን በመፈተሽ ጊዜ ያባክናሉ። የስር መንስኤው እርጥበት መላውን ሰንሰለት መስተጓጎል ነው።
የማቀዝቀዣ ውሃ መጨመር የክፍሉን ሙቀት ይቀይራል። ከፍተኛ የአካባቢ እርጥበት የሃይድሮጅን ይዘትን ይጨምራል እና የአረፋ መፈጠርን ያስከትላል። የቆመ እቶን እርጥበት የSiNₓ ንጣፍ አንጸባራቂ መረጃ ጠቋሚን ያበላሻል። የዘገየ ሂደት የተፈጥሮ ኦክሳይድ ከቁጥጥር ውጭ እንዲያድግ ያደርጋል፣ ይህም የPL ንጣፎችን እና የጀልባ ምልክቶችን ያስከትላል።
ሊተገበሩ የሚችሉ የበጋ ሂደት ቁጥጥር ሀሳቦች
በፎቅ ላይ እንዴት እንደሚስተካከል እነሆ።
በመጀመሪያ፣ የማቀዝቀዣ ውሃዎን ይቆጣጠሩ። የመግቢያ ሙቀትን እና የሙቀት ልዩነትን ይከታተሉ፣ የክፍሉን ሙቀት ብቻ ሳይሆን። የማቀዝቀዣ ውሃ ከ24℃ ቢያልፍ፣ በፍጥነት ቺለሮችዎን ይፈትሹ እና አስፈላጊ ከሆነ በPECVD ኃይል ወይም የማስቀመጫ ጊዜ በእጅ ያስተካክሉ። የንጹህ ክፍልዎን የጤዛ ነጥብ ከዕለታዊ ክትትል ጋር ያገናኙ።
በሁለተኛ ደረጃ፣ የALD አዘገጃጀቶችዎን ለበጋ ያስተካክሉ። የALD ማስቀመጫ ሙቀትን በ180–300℃ ክልል ውስጥ በትንሹ ይጨምሩ፣ ወይም የመታጠብ ጊዜን ያራዝሙ። ይህ ፊልሙን ጥቅጥቅ ያደርገዋል እና የመጀመሪያውን የሃይድሮጅን ይዘት ይቀንሳል፣ በኋላ ላይ የአረፋ መፈጠርን ይከላከላል። በተጨማሪም፣ በPECVD SiNₓ ማስቀመጫ ወቅት የማሞቂያ መጠንን ወይም የመያዝ ጊዜን ያራዝሙ፣ ሃይድሮጅን በተቀላጠፈ ሁኔታ እንዲለቀቅ ተጨማሪ ጊዜ ለመስጠት።
በሦስተኛ ደረጃ፣ የቧንቧ እቶኖችዎን ብዙ ጊዜ ያጋግሩ። በቆም ጊዜ የተወሰደውን እርጥበት ለማስወገድ በየ4 ሰዓቱ ለ15 ደቂቃ የ500℃ መጋገር ያካሂዱ። ከተቻለ፣ በቆም ጊዜ ትንሽ አዎንታዊ ግፊት ያለው N₂ መጥረግ ይጠብቁ።
አራተኛ፣ ለበጋ ወቅት የተወሰነ የፓሲቬሽን መነሻ የምግብ አዘገጃጀት መመስረት። አትገምት። እርጥበቱ የተወሰነ ደረጃ ሲያልፍ ለመቀየር ዝግጁ የሆኑ የALD እና PECVD መለኪያዎች ይኑርህ።
አምስተኛ፣ የQ-ጊዜህን በጥብቅ ተቆጣጠር። ዋፈሮች ከአልካላይን ፖሊሽን ወደ ኦክሳይድ ምድጃ በአንድ ሰዓት ውስጥ መሄድ አለባቸው። መዘግየት ካለ፣ በዝቅተኛ እርጥበት ናይትሮጅን ካቢኔት ውስጥ አከማችቸው።
የበጋ ፓሲቬሽን ፈጣን ቼክሊስት
| ቁጥር | የሚፈተሽ ነገር | የቁጥጥር ዒላማ | ኃላፊ ሰው |
|---|---|---|---|
| 1 | የማቀዝቀዣ ውሃ ሙቀት | በየቀኑ ክትትል፣ ከደረጃ በላይ ከሆነ ማንቂያ | መሳሪያ/ፋሲሊቲ |
| 2 | የንጹህ ክፍል ጤዛ ነጥብ | የመነሻ ገደቦችን በጥብቅ መከተል | ፋሲሊቲ |
| 3 | የቱብ ምድጃ መጋገር | በእያንዳንዱ 4 ሰዓት ተጠባባቂ አጭር መጋገር | የሂደት መሐንዲስ |
| 4 | ከፖሊሽን ወደ ኦክሳይድ Q-ጊዜ | ከ1 ሰዓት በታች | የምርት ቡድን |
| 5 | የALD/PECVD የምግብ አዘገጃጀቶች | ወደ ተቀመጠው የበጋ መነሻ መስመር ይቀይሩ | የሂደት ቡድን |
የOoitech እይታ
የመሳሪያ መረጋጋት ልክ እንደ የሂደት አሰራር ወቅታዊ የእርጥበት መጨመር የምርት ወለሉን ሲያውኩ ወሳኝ ነው። ፋብሪካዎች ብዙ ጊዜ የምርት መጠን መቀነስ ያጋጥማቸዋል ምክንያቱም የአካባቢ እርጥበት የሙቀት ታሪክን እና የሃይድሮጂን ተለዋዋጭነትን የመከላከያ ንብርብሮችን ስለሚቀይር። እነዚህን የተደበቁ ተለዋዋጮች—እንደ ቺለር ቅልጥፍና፣ የከባቢ አየር Q-ጊዜ እና የቆመ እርጥበት መለቀቅ—መፍታት ወጥ የሆነ የሴል ቅልጥፍናን ለመጠበቅ ትልቅ ለውጥ ያመጣል። እነዚህን ስውር የአካባቢ ቁጥጥሮች መቆጣጠር አማካይ የሶላር ፓነል ማምረቻ ዝግጅትን ከእውነተኛ የተመቻቸ፣ ከፍተኛ ምርት ከሚሰጥ የምርት መስመር የሚለየው ነው።
ተጨማሪ ንባብ እና የዳራ መረጃ
በኢንዱስትሪው የቴክኖሎጂ ፍኖተ ካርታ እና የገበያ መረጃን በሚያስተዳድሩ ድርጅቶች የታተመ በዚህ ርዕስ ላይ የህዝብ ማጣቀሻ ቁሳቁስ፡
