በTOPCon ውስጥ በሌዘር የተቆረጡ ጠርዞች፡ የመስቀለኛ ክፍልን በማለፍ ማለፊያ ማድረግ

ፈጣን መልስ፦ ሴልን ወደ አራት መቁረጥ በሌዘር ጎድጓዳ ላይ ይከፍለዋል፣ ያ ጎድጓዳም በሁለቱም ግድግዳዎች ላይ ባዶ ሲሊኮን ይተዋል። የታተመው አቀራረብ በግድግዳው ላይ ቀጭን ቱኔል ኦክሳይድ ማሳደግ፣ በላዩ ላይ n⁺ የተነከረ poly-Si ማስቀመጥ እና poly-Siውን በAlOₓ መሸፈን ነው፣ ስለዚህ የተቆረጠው ገጽ እንደ ድጋሚ መጣመር ማዕከል ሳይሆን እንደ መራጭ ግንኙነት ይሠራል። እያንዳንዱ የተጨመረ ደረጃ ዝቅተኛ ሙቀት ነው፣ ይህም አስቀድሞ LPCVD ለሚያካሂድ መስመር አስደሳች የሚያደርገው ነው።

አራት-ቁራጭ እና ብዙ-ቁራጭ ሴሎች አሁን የተለመደ ምርት ናቸው፣ ምክንያቱም ሒሳባዊ ነው፡ ሴልን ወደ አራት መከፋፈል እያንዳንዱ ሪባን የሚሸከመውን ጅረት ይቀንሳል፣ በጣቶች ላይ ያለውን መንገድ ያሳጥራል እና በግንኙነቱ ውስጥ ያለውን የመቋቋም ኪሳራ ይቀንሳል። ጥቅሙ እውነተኛ ነው እናም ማንም ስለ ወጪው ከመከራከሩ በፊት አራት-ቁራጭ TOPCon ሴሎች ነባሪ የሆኑበት ምክንያት ይህ ነው።

ወጪው በራሱ በተቆረጠው ቦታ ላይ ነው። የሌዘር ጎድጓዳ ሳጥኑን ሩብ ዓመታትን ይለያል፣ እና የሚከፍተው ግድግዳ በፍጹም የፓሲቬሽን ንብርብር ያልነበረበት ሲሊኮን ነው። እዚያ ያሉት የገጽታ ሁኔታዎች በባንድ ክፍተቱ መካከል ይገኛሉ፣ እና ግድግዳው ላይ የሚደርሱ ተሸካሚዎች እንደገና ይጣመራሉ። ይህ የቮልቴጅ ኪሳራ ነው፣ የጥላ ኪሳራ አይደለም፣ እና ከመቁረጥ ደረጃ በፊት በሚደረግ ማንኛውም መለኪያ ውስጥ አይታይም።

ከዚህ በታች የተገለጸው አቀራረብ ያንን ግድግዳ እንደ መቀነስ የሚያስፈልገው ጉዳት አድርጎ መመልከቱን ያቆማል እና እንደ መሸፈን የሚያስፈልገው ገጽታ አድርጎ ይመለከተዋል። ይህ TOPCon በዋፈር ፊት ላይ አስቀድሞ የሚጠቀመው ተመሳሳይ የመራጭ-ግንኙነት ሃሳብ ነው፣ በመቁረጥ ጥቂት የሂደት ደረጃዎች ቀደም ብሎ በተፈጠረ ገጽታ ላይ ተተግብሯል።

የተቆረጠው ጠርዝ ገጽታ ነው፣ እና በሴሉ ላይ ካሉት ሁሉ ወራዳው ነው

በተጠናቀቀ ሞጁል ውስጥ ያለ ሌላው ሁሉም የሲሊኮን ገጽታ ሙሉውን የፓሲቬሽን ቅደም ተከተል አልፏል፡ የጽሑፍ አቀራረብ፣ ጽዳት፣ ዳይኤሌክትሪክ ቁልል፣ አንዳንድ ጊዜ ከሱ በታች የተመረዘ ንብርብር። የጎድጓዳ ሳጥኑ ግድግዳ ከዚህ ምንም አያገኝም። የፊት መገናኛው ከተፈጠረ በኋላ እና የኋላ ቁልሉ ከተቀመጠ በኋላ ይፈጠራል፣ ስለዚህ ሌዘር የሚተወው ጥሬ ቁሳቁስ ነው።

ለዚያ ዓይነት ገጽታ በተለምዶ የሚጠቀሱት ቁጥሮች ተስፋ አስቆራጭ ናቸው። የግንኙነት ሁኔታ ጥግግቶች በ1 × 10¹² ሴሜ⁻² ኤቮ አካባቢ እና ከ500 ሴሜ/ሰ በላይ የሆነ የገጽታ ድጋሚ ጥምረት ፍጥነት፣ ሁለቱም ይህ ጽሑፍ ከሚጠቀምበት ምንጭ ውስጥ ለተቆረጠው ሁኔታ ሪፖርት የተደረጉ ናቸው። በነጠላ አሃዝ ሴሜ/ሰ የሚለካ ፓሲቬት ከተደረገ ገጽታ ጋር ሲነጻጸር፣ ያልተስተናገደ የተቆረጠ ጠርዝ በግምት በሁለት መጠን ትዕዛዝ በፍጥነት ይደጋገማል።⁻¹ አስፈላጊ የሚያደርገው ስፋቱ አይደለም። ተሻጋሪ ጎድጓድ 30 µሜ ስፋትና ወደ 1.5 µሜ ጥልቀት አለው፣ M10 ሴልን ወደ አራት መቁረጥ ከ33,000 ሚሜ

የዌፈር ገጽ ጋር ሲነጻጸር በግምት አንድ ካሬ ሚሊሜትር ግድግዳ ይከፍታል። ይልቁንስ፣ በተቆረጠው የስርጭት ርዝመት ውስጥ የተፈጠሩ ተሸካሚዎች ወደ እሱ መድረስ መቻላቸው ነው፣ ግድግዳውም በሁለቱም አቅጣጫዎች የሴሉን ሙሉ ርዝመት ይሸፍናል። ኪሳራ የሚመጣው ከመስመሩ ርዝመት ጋር ነው፣ ተሻጋሪው ንድፍም በእያንዳንዱ ሩብ መሃል ረጅም መስመር ያስቀምጣል።² of wafer face. Rather, it is that carriers generated within a diffusion length of the cut can reach it, and the wall runs the full length of the cell in both directions. Line length is what the loss scales with, and the cross pattern puts a long line through the middle of every quarter.

ይህም ኪሳራው እንደ ቮልቴጅ ችግር የሚባረክበት ምክንያት ነው። በጠርዙ ላይ የሚፈጠረው ድጋሚ መጣመር ተሸካሚዎችን ከጅምላው ያስወግዳል፣ እና ክፍት-ዑደት ቮልቴጅ በሴሉ ላይ ባለው አጠቃላይ የድጋሚ መጣመር መጠን ላይ ምላሽ ይሰጣል። የመሙያ ፋክተሩም ይንቀሳቀሳል። ጥላ በกระแส ላይ ይታያል፤ ይህ ግን በVoc እና FF ላይ ይታያል፣ ይህም የመቁረጫ ሂደት ሲረጋገጥ ለመመልከት ብዙም ግልጽ ያልሆነ ቦታ ነው።

ሽፋኑ በትክክል ምን እንደሆነ

የታተመው አወቃቀር በተቆረጠው ግድግዳ ላይ በተወሰነ ቅደም ተከተል ሶስት ንብርብሮችን ያስቀምጣል። ከሲሊኮን ወደ ውጭ ስንነብብ፦ ተሸካሚዎች ሊያስተላልፉበት የሚችሉት በጣም ቀጭን ሲሊኮን ኦክሳይድ፣ ተሸካሚዎችን የሚወስድ በከፍተኛ ሁኔታ የተመረዘ ፖሊሲሊኮን ንብርብር፣ እና የግንኙነቱን ኬሚካላዊ ፓሲቬሽን የሚያጠናቅቅ የአሉሚኒየም ኦክሳይድ ክዳን።

ይህን ከኦክሳይድ እንደገና ከማሳደግ የሚለዩት ሁለት ዝርዝሮች አሉ። በመጀመሪያ፣ ክምርው ዳይኤሌክትሪክ ብቻ አይደለም፤ የተቀዘቀዘ ሴሚኮንዳክተር ይዟል፣ ስለዚህ መተላለፍም ይችላል። ንጹህ ኦክሳይድ ግድግዳውን ያለፍላጎት ያደርገው ነበር እና በኤሌክትሪክ ሞቶ ይተወው ነበር፣ ይህ ምንም የማይሰበስብ ገጽታ ላይ ጥሩ ነው፣ ነገር ግን እዚህ ያለው ግድግዳ ሁለቱም የሩብ ሴሎች የሚፈልጉትን ጅረት ማንቀሳቀስ በሚያስፈልጋቸው መካከል ይገኛል። በሁለተኛ፣ ውፍረቶቹ በጠፍጣፋ ዌፈር ላይ በማይኖረው መንገድ አስፈላጊ ናቸው። ፖሊ-Si በ1.5 µm ጥልቀት ባለው ክብ ታች ባለው ጎድጓዳ ላይ ቀጣይነት እንዲኖረው ያህል ውፍረት ሊኖረው ይገባል። እንዲሁም የራሱ ጫና እንዳይሰነጠቀው ወይም ከግድግዳው ላይ እንዳይገፈው ያህል ቀጭን መሆን አለበት።

ምንጩ በአወቃቀሩ መግለጫ ውስጥ ለፖሊ-Si 120 nm እና በሂደቱ ቅደም ተከተል 80 nm ይሰጣል፣ እንዲሁም 80 nm ለመስክ ፓሲቬሽን ውጤት በቂ መሆኑን ይገልጻል። ያ ልዩነት ለስላሳ ከማድረግ ይልቅ ልብ ሊባል የሚገባው ነው፡ የንብርብሩ ውፍረት በሂደቱ ጊዜ ውስጥ ሊስተካከል የሚችል እንጂ ቋሚ ግብ አለመሆኑን፣ እና ሁለቱም እሴቶች ደራሲዎቹ ሊሠሩበት በሚችሉት ክልል ውስጥ መሆናቸውን ይጠቁማል።

ቀጭን ኦክሳይድ እና ዶፕ የተደረገ ንብርብር አጓጓዦችን የሚያጣሩበት ምክንያት

ስልቱ ኬሚስትሪ ሳይሆን የባንድ ምህንድስና ነው፣ እና እሱም TOPCon መጀመሪያ ተወዳዳሪ እንዲሆን ያደረገው ተመሳሳይ ነው። በባዶ ግድግዳ ላይ፣ የግንኙነት ሁኔታዎች በባንድ ክፍተቱ ላይ ተሰራጭተዋል። ከእነዚያ ሁኔታዎች ወደ አንዱ የሚደርስ ኤሌክትሮን የሚቀመጥበት ቦታ አለው፣ እና በዚያው ሁኔታ ላይ የሚደርስ ቀዳዳ ዑደቱን ይዘጋል፡ ሁለቱ እንደገና ይጣመራሉ፣ እና ጥንዶቹ ይጠፋሉ።

ኦክሳይድና ዶፕ የተደረገው ፖሊ-ሲ በቦታው ከተቀመጡ በኋላ፣ በግንኙነት ቦታው ላይ ያለው የባንድ አወቃቀር ከእንግዲህ ጠፍጣፋ አይደለም። ቀጭኑ ኦክሳይድ በሲሊኮንና በዶፕ በተደረገው ንብርብር መካከል ያለውን ቀጥተኛ መንገድ ይዘጋል፣ ነገር ግን ኤሌክትሮኖች በእሱ ውስጥ ማለፍ እንዲችሉ በቂ ቀጭን ሆኖ ይቆያል። በዶፕ በተደረገው ንብርብር ውስጥ ያለው ክፍያ ከግንኙነት ቦታው በታች ባለው ሲሊኮን ውስጥ ያሉትን ባንዶች ያጣምማል፣ ይህም ያልተመጣጠነ ሁኔታውን ይፈጥራል፡ አንድ የክፍያ ተሸካሚ ዓይነት ዝቅተኛ እንቅፋት አይቶ ያልፋል፣ ሌላኛው ደግሞ ከፍተኛ እንቅፋት አይቶ ይመለሳል።

የተዘገበው ውጤት በተቆረጠው ጠርዝ ላይ ያለው የገጽታ ድጋሚ ጥምረት ፍጥነት ከ500 ሴሜ/ሰ ወደ 10 ሴሜ/ሰ በታች መውረዱ ነው፣ ይህም በግምት 98% ለውጥ ነው። ይህ ትልቅ ቁጥር ነው፣ እና ትልቅ የሆነበት ምክንያት ቀላል ነው፡ መነሻው ያልተጠበቀ ገጽታ ነው፣ ይህም ካሉት በጣም መጥፎ ሁኔታዎች አንዱ ነው። የተጠበቀ ገጽታን በተመሳሳይ መጠን ማሻሻል አይቻልም።

ሽፋኑ ምን እንደማያደርግ በትክክል መግለጽ ጠቃሚ ነው። ጎድጓዱን አያስወግድም፣ ሌዘር ያጠፋውን ሲሊኮን አይመልስም፣ ግድግዳውንም በኦፕቲካል ጠቃሚ አያደርግም። ሩቡ አሁንም ጠባብ ነው። የይገባኛል ጥያቄው ከዚያ የጠበበ ነው፡ የተቆረጠው ገጽ ተሸካሚዎች የሚሞቱበት ቦታ መሆን ያቆማል፣ እና ሊሰበሰቡበት የሚችሉበት ቦታ መሆን ይጀምራል።

የሂደቱ ደረጃዎች የሚወድቁበት ቦታ

በዚህ አወቃቀር የታተመው መንገድ አንድ ተጨማሪ ያለው የተለመደ የTOPCon ቅደም ተከተል ነው፡ ሌዘር መስቀለኛውን ጎድጓዳ ከቆረጠ በኋላ፣ ግድግዳው ኦክሲዳይዝ ይደረግና እንደገና ዶፕ ይደረጋል፣ ከዚያም የሴል ደረጃ ፓሲቬሽን ተከላ ከመደረጉ በፊት። ሌላው ሁሉ በነበረበት ይቆያል።

የTMAH ማጠጋጋት እና የክሪስታላይኒቲ ምርመራ ይህ እንደ ላቦራቶሪ ማሳያ ሳይሆን እንደ የምርት መንገድ እንዲመስል የሚያደርጉት ሁለቱ ዝርዝሮች ናቸው። የ1.5 µm ቦይ ማዕዘን አለው፣ ማዕዘኖች ደግሞ የሚቀመጡ ፊልሞች ቀጭን የሚሆኑበት እና ጫና የሚከማችበት ቦታ ናቸው። ማዕዘኑን ለሁለት ሰከንድ ማጠጋጋት ምንም ወጪ አያስወጣም እና በኋላ በሙቀት ዑደት ወይም በአያያዝ ጊዜ ሊታይ የሚችልን የውድቀት ዓይነት ያስወግዳል።

ለአንድ መስመር፣ የሚስበው ክፍል ከተጨመሩት ደረጃዎች መካከል አንዳቸውም አዲስ መሣሪያ የማይፈልጉ መሆናቸው ነው። ኦክሲዴሽን፣ ዲፖዚሽን እና አኒል ሁሉም የTOPCon መስመር አስቀድሞ በሚይዘው የLPCVD አቅም ውስጥ ይገባሉ፣ የተጨመሩት ሁለቱ ደረጃዎች ዝቅተኛ ሙቀት ስለሆኑ የተጠናቀቀው ሴል የሙቀት በጀት አይረበሽም። ምንጩ የመስመሩ ታክት ኪሳራ ከ3% በታች መሆኑን ያሳያል፣ ይህም አዲስ ደረጃ ሲመከር በመጀመሪያ መፈተሽ ያለበት ቁጥር ነው፦ ቅልጥፍናን በግማሽ ነጥብ የሚያሻሽል ግን የምርት ፍጥነትን 10% የሚያሳጣ ደረጃ ከ3% ብቻ ከሚያሳጣ ደረጃ የተለየ ሀሳብ ነው።

የቅደም ተከተሉ የኋላ ክፍልም ይለወጣል፣ እና ይህ በሽፋኑ ምክንያት አይደለም። የ12BB አቀራረቡን የሚጠብቅ በአራት የተቆረጠ ሴል ከሩብ ሴሎች መገጣጠም አለበት፣ የተቆረጠው ጠርዝ አሁን ስትሪንገሩ የሚይዘው ገጽታ ነው። የቦታ አቀማመጥ መቻቻል፣ ሪባኑ በመገጣጠሚያው ላይ የሚያደርሰው ኃይል እና ሴሉ በብየዳ ጊዜ የሚያየው የሙቀት መጠን ሁሉም በ30 µm ጎድጓዳ የሚያልፍ ጠርዝ ባለው ቁራጭ ላይ ይሠራሉ። እዚያ ነው ጥቃቅን ሽቦ ታቢንግ እና ስትሪንጊንግ መሣሪያዎችና የቡሲንግ ደረጃ ከሴሉ ንድፍ ጋር የሚገናኙት፣ እና ሽፋኑ የማይመለከተው የፍሰቱ ክፍል ነው።

የተዘገበው ንጽጽር የሚያሳየው

ምንጩ ለመደበኛ ባለአራት ቁራጭ ሴል እና ለተመሳሳዩ ሴል በተለበጠ ጠርዝ የተሸፈነው ከዚህ በፊት እና ከዚህ በኋላ ያለውን ንጽጽር ያትማል። ከታች ያለው ሰንጠረዥ ይህንን ያሳያል። እነዚህ ከመንገዱ ጋር የታተሙ ቁጥሮች ናቸው፤ ከአንድ ምንጭ የመጡ ናቸው፣ እኛም በተናጥል አላረጋገጥናቸውም።

የግለሰብ እሴቶችን ሳይሆን ስርዓተ-ጥሉን ይመልከቱ። የቮልቴጅ ትርፍ ከጅረት ትርፍ ይበልጣል፣ ይህም ስርዓተ-ጥሉ የሚተነብየው ነው፦ በገጽታ ላይ የሚከሰት ዳግም መጣመር በመጀመሪያ ቮልቴጅን ያስከፍላል። የመሙላት ምክንያቱ በትንሹ ይለወጣል፣ ይህም በኤሌክትሮኒካዊ መልኩ የሞተው የቦታው ክፍልፋይ በትንሹ መቀነስ ጋር ይስማማል። ቅልጥፍና ቮልቴጁን ይከተላል፣ እና 0.5 ነጥብ ፍጹም ዋናው ጥያቄ ነው።

የቢፋሻሊቲ አሃዙ ከሌላው የበለጠ ጥንቃቄ ይፈልጋል። ከ85% ወደ 90% መሄድ በሴሉ የኋላ አካባቢ ትንሽ ክፍል በሆነ ወለል ላይ በተፈጠረ ለውጥ የተከሰተ የአምስት ነጥብ ዝላይ ነው፣ ምንጩም ምክንያቱን አያብራራም። የተቆረጠው ጠርዝ ቀደም ሲል በኋላ በኩል የአካባቢ ሹንት መንገድ ከነበረ እውነት ሊሆን ይችላል፣ ነገር ግን አንድ ትንሽ ናሙና ሊያመነጨው ከሚችለው አሃዝ ዓይነትም ነው። በሰንጠረዡ ውስጥ በትንሹ የተደገፈው መስመር አድርገው ይዩት።

እስካሁን ያልተረጋገጠው

በታተመው ጉዳይ ላይ አራት ነገሮች ጎድተዋል፣ አራቱም መስመር ከመጀመሩ በፊት አስፈላጊ ናቸው።

• በተለበጠው ጠርዝ ላይ የአስተማማኝነት መረጃ። በጎድጓዳ ግድግዳ ላይ ያለ 1 nm ኦክሳይድ እና 10 nm አሉሚኒየም ኦክሳይድ ሽፋን እንደ ሌላው ሴል እርጥብ ሙቀት፣ የሙቀት ዑደት እና ሜካኒካል ጫና ያጋጥማቸዋል። የተቆረጠ ጠርዝ በሙቀት ዑደት ወቅት የጭንቀት አስነሺም ነው፣ ምክንያቱም ሁለት ሩብ ሴሎች በጎድጓዳ ላይ ይስፋፋሉ። ከዚህ ውስጥ አንዳቸውም በንጽጽር ሰንጠረዡ ውስጥ አይታዩም።
• የውፍረት ጥያቄው። ምንጩ ለተመሳሳይ መዋቅር ሁለት የተለያዩ የpoly-Si ውፍረቶችን ይሰጣል። ይህ ተቃርኖ አይደለም፣ ነገር ግን ምርጡ እሴት በትክክል አልተወሰነም ማለት ነው፣ ውፍረትም ጭንቀትን፣ የማስቀመጫ ጊዜን እና tactን በአንድ ላይ ይጎዳል።
• ገለልተኛ ድግግሞሽ። የቅልጥፍና ጥቅሙ ከአንድ የተዘገበ የውሂብ ስብስብ የሚመጣ ነው። የ0.5 ነጥብ ፍጹም ጥቅም ለመከታተል የሚያስችል በቂ መጠን ያለው እና በሌላ መስመር እና በተለያየ የፓስት እና ሪባን ጥምረት ላይ በድጋሚ ማረጋገጥ የሚገባው በቂ መጠን ያለው ነው።
• ከተቀረው ሴል ጋር ያለው መስተጋብር። በቦይ ግድግዳ ላይ የተቀየረ ንብርብር መጨመር ያ ግድግዳ በሁለት ሩብ መካከል በኤሌክትሪክ የሚሠራውን ነገር ይለውጣል። ከኋላ የብረት ሽፋን ንድፍ እና ከሩብ ሴሎች ገመድ አሰራር ጋር እንዴት እንደሚገናኝ የስርዓት ጥያቄ ነው፣ የሽፋን ጥያቄ አይደለም።

በተመሳሳይ አቅጣጫ ሰፋ ያለ ነጥብ አለ። ሴል መቁረጥ በመስተጋብር ጥቅም ላይ ብቻ ተመስርቶ የተቀበለ ንግድ ነው። የ አራት-ቁረጥ ማዕቀፍ ቁረጡን እንደተሰጠ ነገር ይመለከታል፣ እና የ ብዙ-ቁረጥ ትንተና ትንሹ ሴል በጥላ እና በሞጁል አቀማመጥ ላይ ምን እንደሚያደርግ ይመለከታል። በተቆረጠው ጠርዝ ላይ የሚሠራ ሥራ የዚያን ንግድ ወጪ ጎን ያጠቃል፣ እና ከተረጋገጠ አሁን ያለውን ብቻ ከማሻሻል ይልቅ ምርጡን የቁረጥ ብዛት ይለውጣል።

ይህን ከተቀረው የመቁረጥ ውይይት አንጻር እንዴት መንበብ እንደሚቻል

በአራት ቁራጭ ሴሎች ሲነሱ ሦስት የተለያዩ ሐሳቦች አብዛኛውን ጊዜ አንድ ላይ ይቀላቀላሉ፣ እነሱን ለያይቶ ማቆየት ጽሑፉን ለማንበብ ቀላል ያደርገዋል።

የመጀመሪያው የግንኙነት ትርፍ ነው፡ ሩብ ሴሎች የአንድ ሩብ ጅረት ይሸከማሉ፣ ስለዚህ በሪቦን ውስጥ ያለው የመቋቋም ኪሳራ በከፍተኛ ሁኔታ ይቀንሳል። ይህ የተረጋገጠ ነው እና ቴክኖሎጂው በምርት ላይ ያለበት ምክንያትም ይህ ነው። ሁለተኛው የሞጁል ደረጃ ውጤት ነው፣ እዚህ ጋር ትናንሽ ሴሎች የጥላ መቻቻልን፣ የመገናኛ ሳጥን መስፈርቶችን እና የላሚኔት ሜካኒካዊ ባህሪን ይለውጣሉ፤ የ ሁለት ክፍል መገናኛ ሳጥን አንድ የሚታይ ውጤት ነው። ሦስተኛው የተቆረጠው ገጽታ ራሱ ነው፣ እሱም የዚህ ጽሑፍ ርዕስ ሲሆን የመጀመሪያዎቹ ሁለት ውይይቶች ዝለል የሚሉት።

በመካከላቸው ያለው ተግባራዊ ግንኙነት የሂደት ፍሰቱ ነው። ጎድጓዳ መቁረጥ በ የሌዘር መቁረጫ ደረጃይከናወናል፣ የሽፋን ደረጃው መስመሩ አስቀድሞ በሚያስተዳድረው የLPCVD አቅም ውስጥ ይገባል፣ የማጠናቀቂያ ደረጃዎቹ ደግሞ ሜታላይዜሽን እና ሕብረቁምፊ ማድረግ ናቸው። ይህን መንገድ የሚገመግም መስመር በእውነቱ ጣልቃ ገብነቱ አስቀድሞ በእጁ ባሉት ሁለት መሣሪያዎች መካከል መግባቱን ነው የሚገመግመው፣ የታተመው የታክት ቁጥር ደግሞ 3% አካባቢ ነው።

ተደጋጋሚ ጥያቄዎች

ሽፋኑ የመቁረጥ ፍላጎትን ያስወግዳል?

አይ። ሩብ ክፍሎቹ አሁንም ይቆረጣሉ እና ጎድጓዱ አሁንም እዚያው ነው። የሚቀየረው ጎድጓዱ ያጋለጠው የግድግዳው የኤሌክትሪክ ባህሪ ነው፣ ጂኦሜትሪው አይደለም።

በቀላል ሂደት ብቻ ለምን አይቆረጥም?

የተሻለ ንጹህ ቁርጥራጭ ጉዳቱን ይቀንሳል ነገር ግን አሁንም ያልተጠበቀ ገጽታ ይተዋል። ዳግም መገጣጠሚያው ከጠፋው መከላከያ እንዲሁም ከመጠምዘዣው የሚመጣ ነው፣ ለዚህም ነው እዚህ መልሱ የተሻለ የሌዘር የምግብ አዘገጃጀት ፋንታ ሽፋን የሆነው።

1 nm ኦክሳይድ አስተማማኝ ነው?

የዚያ መጠን የቦረቦረ ኦክሳይዶች በTOPCon ምርት ውስጥ አስቀድመው ጥቅም ላይ ይውላሉ፣ ስለዚህ ጽንሰ-ሀሳቡ በዋፈር ፊት ላይ ተረጋግጧል። ተመሳሳይ ውፍረት የተለየ የገጽታ አቅጣጫ እና ሻካራ መነሻ ባለው የጎድጓድ ግድግዳ ላይ መቆየቱ ከክፍት ጥያቄዎቹ አንዱ ነው።

ይህ ለTOPCon ብቻ ነው የሚተገበረው?

የቦረቦረ ኦክሳይድ እና የተቀየረ ፖሊ-Si ጥምረት የTOPCon አወቃቀር ነው፣ ስለዚህ መንገዱ በተፈጥሮ አስቀድመው ወደሚያካሂዱት መስመሮች ይመራል። ወደ ቁርጥራጮች የሚቆረጡ ሌሎች የሴል ዓይነቶች ከራሳቸው ሂደት ጋር የሚስማማ የመከላከያ ቁልል ይፈልጋሉ፣ ይህም የተለየ የምህንድስና ችግር ነው።

በሙከራ ላይ በመጀመሪያ ምን እንፈትሻለን?

የጠርዙ SRV ፕሮክሲ እና የቮልቴጅ፣ ከሁሉም በፊት። በ30 µሜ ስፋት ባለው ጎድጓዳ ሳህን ላይ ያለው የማስቀመጥ ተመሳሳይነት፣ የንብርብሩ ክሪስታላይኒቲ፣ እና የገቡት ደረጃዎች ታክት ወጪ ቀጥሎ ይመጣሉ፣ እና ከጎድጓዳ ሳህን በኋላ ያለው የሩብ ሜካኒካል ባህሪ በጣም ሊረሳ የሚችል ነገር ነው።

ሽፋኑ ስትሪንገሩ ምን ማድረግ እንዳለበት ይለውጣል?

በቀጥታ አይደለም። ሽፋኑ ኤሌክትሪካል ነው፣ ስለዚህ የማስቀመጥ ትክክለኛነት፣ የብየዳ ሙቀት እና የመያዝ ኃይል አልተለወጡም። የሩብ ሴሉ ራሱ፣ በውስጡ ጎድጓዳ ሳህን ያለው፣ ለመያዝ የበለጠ አስቸጋሪ ነገር ሆኖ ይቆያል፣ እና ይህ ይህ ሥራ ከሚመለከተው ገደብ የተለየ ገደብ ነው።

የመጨረሻ ሀሳቦች

ሴሎችን የተሻለ ለማድረግ ሲሊኮን መቁረጥ በመጠኑ እንግዳ ንግድ ነው፣ እና የሚሠራው የግንኙነት ትርፉ ትልቅ ስለሆነ ነው። ይህ ሥራ የሚያደርገው በጭራሽ ዋጋ ያልተሰጠውን የንግዱን ክፍል መዝጋት ነው፡ መቁረጡ የሚፈጥረውን ገጽ። የጎድጓዳ ሳህኑን ግድግዳ ሴሉ በሌላ ቦታ የሚጠቀምበትን ተመሳሳይ የመራጭ-ግንኙነት ቁልል በመሸፈን ወጥ የሆነ መልስ ነው፣ እና አሁን ባለው የLPCVD አቅም እና በሁለት ዝቅተኛ-ሙቀት ደረጃዎች መሠራቱ መከታተል የሚገባው ምክንያት ነው።

የተለመደው ጥንቃቄ ይሠራል። ዘዴው ጤናማ ነው እና ከተረጋገጠ ፊዚክስ ይከተላል፤ የተዘገበው የግማሽ ነጥብ ቅልጥፍና ግኝት ከአንድ ምንጭ የመጣ ሲሆን በገለልተኛ አልተረጋገጠም፣ በተለይም የሁለት ጎን ቁጥሩ ከሌላው ሰንጠረዥ ይወርዳል። ለአንድ መስመር፣ ምክንያታዊው አቋም እንደ የሂደት ማስገቢያ እውነተኛ ግን ያልተረጋገጠ ግኝት ያለው በመሆኑ መከታተል እና ዘዴው በሚተነብየው መለኪያ ማለትም በቮልቴጅ ላይ መፈተሽ ነው።

የውሂብ ማስታወሻ፦ የንብርብር ውፍረቶች፣ የሂደት ሁኔታዎች እና ከዚህ በፊትና ከዚህ በኋላ ያለው ንጽጽር ከዚህ መንገድ ጋር የታተሙ እሴቶች ሲሆኑ እንደተመለከቱት ተባዝተዋል፤ በገለልተኛ አልተረጋገጡም። የግድግዳው ስፋት ቁጥር በግምት 1 mm² ከ30 µm ጎድጓዳ መሰንጠቂያ፣ ከ1.5 µm ጥልቀት እና በ182 mm ሴል ላይ በሁለት ሙሉ ርዝመት ቁርጥራጮች ላይ በራሳችን የተገመተ ሲሆን፣ ከ33,124 mm የዋፈር ፊት ጋር ሲነጻጸር ነው². የኪሳራዎቹ ደረጃ አሰጣጥ፣ ከወቅታዊ በፊት ያለው ቮልቴጅ፣ ከታተመ ቁጥር ሳይሆን ከስልቱ የሚከተል ነው።